在清理钱粮亏空中，一方面着落于赃官及其亲友，可行的另一个途径则是用耗羡银来弥补的方法。火耗之重本已是突出的社会问题，还要用作清欠，雍正就更为重视它，越发要解决它的弊端了。
火耗以及与其相联系的差役和滥征滥派，雍正早看在眼里。雍正元年元旦，他谕地方官文告中说“今钱粮火耗，日渐加增，重者每两加至四五钱，民脂民膏，睃削何堪。至州县差徭，巧立名色，恣其苛派，竭小民衣食之资，供官司奴隶之用”。又说“在康熙时，有人请加火耗以补亏空，先帝未允，如今耗羡断不能加”。由此可见，雍正在考虑既要削减耗羡又要用火耗银清偿亏空的办法。
耗羡部分归公，康熙统治时期就有人提出，但是没有得到康熙的批准，未能实行。雍正元年五月，湖广总督杨宗仁再次提出。他奏称地方上的公事开销，都是地方官勒派百姓供应，不如令州县官在原有耗羡银内节省出二成，交到布政司库房， “以充一切公事之费，此外丝毫不许派捐”。耗羡本来是地方官私征私用，如康熙所说是地方官的私事，杨宗仁要他们拿出一小部分归省里，作为公用，实际上是提出了具有耗羡归公意义的建议。雍正见到他的奏折，立即加以支持，说他“所言全是，一无瑕疵，勉之”。鼓励他好好实行。
同年，山西巡抚诺敏因该省耗羡问题比较严重，要求将山西各州县全年所得的耗羡银，通通上交布政司库，一部分用作抵补无着落的亏空，一部分给各官做养廉银。这是全面实行火耗归公的办法，雍正高兴地批准他在山西实行。雍正二年年初，河南巡抚石文焯奏称：该省共有耗羡银四十万两，给全省各官养廉银若干，各项杂用公费若干，下余十五六万两解存藩库，弥补亏空，因此办公费用都出在耗羡内了，不再议捐睃民。这便是耗羡提解的办法。雍正原本看不上石文焯，见到这个奏折，在朱批中表示赞赏“此奏才见著实，非从前泛泛浮词可比，封疆大吏，原应如此通盘合算，如何抵项，如何补苴，若干作为养廉，若干作为公用，说得通，行得去，人心既服，事亦不俣，朕自然批个是字”。在雍正支持下，山西、河南首先实行耗羡归公之举措。
雍正有推广诺敏的办法之意，于是，命九卿会议具奏。官员多不赞成，内阁作出请禁提解火耗的条奏。他们的理由是：一、耗羡是州县应得之物，上司不得提解。二、“提解火耗，定限每两若干，不能寓‘抚’字于催科”,意思是把不是正税的火耗当作正税征收，使人感到增加赋税。三、 “公取分拨，非大臣鼓励属员之道”,即督抚公开允许州县官征收耗羡，使火耗之私征合法；这是允许属员贪婪。这个奏议发出之后，山西布政使高成龄表示不能同意，缮写奏折，一一予以辩论。他说，州县官私征火耗，以补官俸不足，但其上司没有火耗，又不能枵腹办事，就接受州县官的节礼，这还是出在火耗项上，不如全省征收，给各官以养廉银。如此之后，上司也不能再勒索属员，倒免得州县官借口苛征里甲。他又说，耗羡归公，不是增加火耗，而是要比原来征收的成数还要少征，况且火耗归公，多征也不归州县，谁还滥加成数。他还说，大臣收节礼，甚至收受贿赂，才不是教育属员的办法，不如公开的分养廉银，共受皇上的恩赐。他的结论是：“耗羡非州县之己资，应听分拨于大吏；提解乃万全之善策，实非为厉于属员”。他针对当时耗羡滥征的实际情况，讲解了耗羡归公的好处。九卿所说看似有理，光明正大，既不增加百姓负担，又让州县官满意，其实是沽名钓誉，说得好听，而听任州县官吏滥收滥派，不讲官吏法规，不管百姓死活，如果遵照他们的意见，只能维持旧制弊端。高成龄反驳得很有力，但他只是站在疆吏的地位，更多地着眼于这个问题上大吏与属员的关系，对实行耗羡提解的全部意义还没有透彻的认识。
雍正对高成龄的辩词很看重，于是，把它交给总理事务王大臣及九卿翰詹科道各官讨论，并要求他们“平心静气，虚公执正，确议具奏。若有怀挟私意以及任性尚气，淆乱是非者，则于此一事，必有一二获罪之人也”。把他支持高成龄的态度表示出来了。但这件事涉及内外官员的切身利益，也涉及到百官的政治观点，所以，反对之人仍然很多。吏部右侍郎沈近思认为，耗羡归公使火耗与额征无异，不是善法，他说， “今日则正项之外更添正项，他日必至耗羡之外更添耗羡”。雍正问他：你做过县令，是否也收取火耗?沈答道是的，这是为养活妻儿。雍正说你还是为一己之私，沈回说妻儿是不能不养的，否则就绝了人伦。他的观点不外是私征有理，归公无理。左都御史、吏部尚书朱轼也以不便于民，表示反对。山西太原知府金汝湖时值入京引见，不同意他的上司诺敏、高成龄的主张。雍正问他是否以地方官的私心反对耗羡提解，他回奏“臣非为地方官游说也，从来财在上不如财在下，州县为亲民之官，宁使留其有余”,让他们知道廉耻才好。他的意思是多给州县官一些养廉银。山西人御史刘灿上疏也反对诺敏的办法。在这种情况下，诺敏感到孤立，压力很大，雍正就把刘灿调为刑部郎中，将其弟刘煜、刘题的举人革掉，免得他们在山西有碍耗羡归公的实行。
雍正看到讨论不能取得统一意见，就在雍正二年七月初六日做了实行耗羡提解政策的乾断。他发出上谕，首先批评官员见识短浅，不懂得火耗归公的重要性。
他认为， “与其州县存火耗以上司，何如上司提火耗以养州县”。雍正看得高就在这里。州县用火耗养上司，上司就不得不对他们瞻徇容隐，致使吏治不清，实行耗羡归公，就有利于吏治澄清了。
当疆吏看清雍正态度后，遂继晋、豫二省，迅速仿行起来，并在实践中解决耗羡重和养廉银等问题。
雍正对于耗羡及耗羡率，只许减少，不许增加， “倘地方官员，于应取之外，稍有加重者，朕必访闻，重治其罪”。自从耗羡提解，各省火耗率均有所变动，有的一变再变。总的状况是耗羡率降低了，扭转了康熙统治后期地方官狂征滥派的严重情况。
耗羡归公后，雍正规定它的用途：一是给官员的养廉银，二是弥补地方亏空；三是留作地方公用。用以清补亏欠，主要是雍正初年的事。如雍正元年，山西实收耗羡银四十三万两，用作补偿亏空二十万两，占总数的百分之四十七，各官养廉十一万两，占百分之二十六，给州县作杂费用的二万一千两，通省公费七万一千两，计九万二千两，占百分之二十一，尚余二万一千两。各省弥补完毕或基本清楚，补偿的这笔费用就转用到官员的养廉上。
所谓“养廉银”,是给官员生活，办公补助费，以此不许他们贪污，廉洁奉公。耗羡在州县官私征时，是没有法律规定的，但又不是合法的征收。耗羡归公后，耗羡完全合法了，但收入不归州县官，而属省政府，这样州县官便失去一条生财之道，势必在已成正项赋税的耗羡之外再去横征暴敛。为了防止新的贪赃不法的出现，雍正决定给州县官一部分生活、办公补助费。过去州县官的上司靠他们送礼，他们失去了自行支配的耗羡银，无从馈赠，绝了督抚司道的财源也不行，于是也给他们补助费，这就形成了地方上各级官员的养廉银。
实行耗羡提解，等于绝了地方官的一条财路，朝廷又不增加薪俸，若不给他们另辟财源，他们是不可能廉洁奉公的。雍正也不要官员枵腹办公，而是要他们具有合乎他们身份的经济力量。他说，做督抚的，应该“取所当取而不伤乎廉，用所当用而不涉乎滥，固不可胶削以困民，亦不必矫激以沽誉，若一切公用犒赏之需，至于拮据窘乏，殊失封疆之体，非朕意也”。因此耗羡提解同时， “恐各官无以养廉，以致苛索于百姓，故于耗羡中酌定数目，以为日用之资”。地方官的问题解决了，京官的俸禄之低就更突出了，不予解决，地方官仍要向他们送礼。雍正顾虑及此，雍正六年(1728)下令，给吏、户、兵、刑、工五部尚书、侍郎发双俸，新增的这一份叫“恩俸”。兼管部务的大学士也得双份俸银和俸米。汉人小京官，原先每年支领俸米十二石，大多不够家属口食。雍正三年(1725),雍正令按照汉官俸银数目给米，免得花大价钱到市场购买，后又命给他们加俸银俸米。
耗羡银也用作地方上的办公费，在山西初行时就有所明确了，高成龄说提解的耗羡银除用于养廉外， “通省遇有不得已之费，即可支应”。杨宗仁提解火耗，也以用它“充一切公事之费”为目的之一。雍正批准耗羡归公，对于耗羡银的用途，概括为“将经年费用之款项，衙门事务之繁简，议定公费，派给养廉，俾公事私用，咸足取资”。即把地方政府的办公费列为重要开支。杨宗仁在湖广，开始是提取耗羡银的百分之二十作为衙门办公经费，后来增加，改提百分之三十。山东巡抚以正税的百分之一作为地方经费，把这笔钱从耗羡银中提出， “以为公费之用”。田文镜在河南也实行这样的办法，河南每年实征钱粮银三百一十四万余两，按百分之一计算，为银三万一千多两，从耗羡银中提出这个数目的银子，按官职分给各官作办公费。如直隶州知州三百两，大州县二百四十两，中州县二百两，小州县一百八十两，巡检八十两。河南信阳州衙门，除知州有公费银二百四十两外，还有地丁、黄腊、河银、漕粮等项解费银。《清朝文献通考》关于实行提解火耗写道“有司之养廉于此酌拨，地方之公用于此动支”,由此可见，耗羡银用作地方公费的事实。
耗羡银按地丁税的一定比例征收，地丁银基本上是固定的，耗羡银因而也是固定的。官员的养廉银和衙门的办公用银，是根据该地方事务的繁简状况确定的，即依照需要确定的，一般也不再变化。这就是说，地方政府除去上交国库的钱粮，自行的收入和使用都是固定化了的，基本上保持收支平衡。
养廉银制度实行之前，地方官中的下属对上司，按规定馈送礼金，若上司身兼数任，就应奉送几份礼物，由此可见，此种陋规之弊极其严重。
雍正元年(1723),山东巡抚黄炳奏报他所主管的衙门，以前每年收规礼银十一万两，其中节礼，寿礼银六万两，丁、地规礼银一万余两，两司羡余银三万两，驿道、粮道规礼银各二千两，盐道及盐商规礼银各三千两。黄炳曾任按察使六年，收盐商规礼银三万两。巡抚一年的规礼，要比后来实行的养廉银多好几倍，按察使所受盐商规礼一项，就占到养廉银的二分之一以上。
雍正即位后，着手革除这一弊病，元年发出上谕，禁止钦差接受地方官馈赠，督抚也不得以此向州县摊派。随着耗羡提解的广泛实行，陋规渐渐地被取缔了。这方面，河南巡抚做的比较突出。石文焯在计议耗羡归公时，考虑到若规礼不除，州县官还会在耗羡外再行加派，以奉献上司，为防止这种情况出现，就将巡抚衙门“所有司道规例，府州县节礼，及通省上下各衙门一切节寿规礼，尽行革除”。田文镜继任后，更能以身作则，不收规礼：“家人吏役约束颇严，门包小费一概谢绝”。河南有一些特产，如开封府的绫、绵、绸、手帕、西瓜，归德府的木瓜、牡丹、永枣、岗榴，怀庆的地黄、山药、竹器，汝南府的光鸭、固鹅、西绢，平原州县的麦豆，水田州县的大米，附山州县的木炭、兽皮、野鸡、鹿、兔等类，上司强令该地方官交纳，成为土例。而田文镜一概不收，严行禁止地方官交送。
有些官员对陈规陋习不忍放弃，一经举扳，雍正就严加处理。雍正五年(1727),巡察御史博济到江南，勒索驿站规礼，江南总督范时绎即行参奏，雍正将博济革职，交当地大员严审具奏。山东蒲台知县朱成元在任多年，一直给巡抚、布按两司各官送礼，并有册簿进行登记。雍正六年(1728)被人揭发，雍正命河东总督田文镜、署山东巡抚岳潜对朱成元及受礼的前巡抚黄炳及博尔多、余甸等人进行审讯。当时山东的规礼仍很严重，州县官进谒上司一次，巡抚衙门索门包十六两，布政使、按察使两使八两，粮道十二两，驿道和巡道各五两，本府州十六两，同知、通判三四两。解地丁钱粮，则有鞘费、部费、敲平、饭食、验色、红簿、挂牌、草簿、寄鞘、劈鞘、大门、二门、内栅、外栅、巡风、付子、实收、投批、投文、茶房等名色。这样每解银一千两，共约需三十两的杂费银。田文镜深知“欲禁州县之加耗加派，必先禁上司，欲禁上司，必先革陋规”,就采取严行整饬的态度。雍正对此很满意，命他好好实行。雍正又通令全国，严禁授受规礼：“倘有再私受规礼者，将该员置之重典，其该管之督抚，亦从重治罪”。
在遏制地方陋规的同时，雍正加强对中央官员的约束。原来地方官向户部交纳钱粮，每一千两税银，加送余平银二十五两，饭银七两。雍正于即位之初，下令减去余平的十分之一。耗羡提解实行后，总理户部三库事务的允祥建议取消收纳钱粮时的加平银和加色银，不许地方解送官员短交或以潮银抵充足色纹银，不许库官通同作弊，侵蚀私分，得到雍正的批准。雍正八年(1730),雍正明确规定，平余银、饭银均减半收纳。其他衙门也有部费，如题奏事件，不给部费，就不能了结，甚至新设立的会考府，本是清理钱粮的，也有地方大吏用比部费加倍的银钱进行打点，雍正于二年十月二十三日谕告各省总督，巡抚，提督，总兵，严加禁止。
实行耗羡归公和养廉银制度，本来就意味着取消陋规，但是官僚总不想放弃这项财源，力图维持它，所以反对陋规的斗争便于此时开始了。
雍正实行耗羡提解，使原先被侵蚀的税赋，用本来为地方官私有的耗羡加以补偿；确定养廉银制度，希图防止以后再发生侵吞，保证国课不致短缺；控制火耗率，禁止地方官恣意加派，也保障百姓完纳正税。所以这项制度的精神是为保证清朝政府的赋税收入，做到国库充盈。
耗羡归公、清查亏空、养廉银三事同时进行，它使恣意加派、授受规礼、贪婪勒索败坏吏治的恶劣风习有所改变。
耗羡归公和养廉银制度使地方政府的正税和附加税都制度化了，支出按预计的进行，是朝廷在财政管理上的进步。
耗羡提解后的耗羡量，大多数地区比州县私征时减少了，这对百姓自然有好处。乾隆初年内阁学士钱陈群说： “初定耗羡，视从前听州县自征之数有减无增。奉行以来，吏治肃清，民亦安业”。这样说不免有溢美之词，然亦反映耗羡归公确实有益于民生。
上述种种说明，耗羡归公和养廉银制度，表面上肯定了封建政府的加派，实质上有益于整顿吏治，相对减轻人民的负担，从而有利于社会生产力的发展。